真空碳管爐的清洗該怎么進行？

 　　真空碳管爐的真空系統采用油擴散泵、機械泵、機械泵上設有電磁閥，高、低真空閥為氣動擋板閥，配合數顯復合真空計及PLC實現高、低真空切換。電控系統主回路為低電壓大電流輸入，控制柜體標準制作。進口數顯程序控制儀完成升溫/降溫過程自動控制，控制本面板上設有圖形模擬屏，人性化設計，操作直觀簡單，控制回路具有斷水、超溫、過流等聲光報警及自動保護功能。